1、靜電的危害
a、靜電產(chǎn)生電場能擊穿電子和微電子產(chǎn)品造成廢品；靜電放電產(chǎn)生電磁波會引起電子儀器（計(jì)算機(jī)和控制設(shè)備）的誤動作，放電產(chǎn)生火花可使感光材料曝光。
b、潔凈室內(nèi)靜電的帶電體，灰塵會依附在其表面，成為潔凈室的污染源，影響潔凈室的潔凈度。
c、潔凈室的靜電聚集放電會誘發(fā)引起火災(zāi)和爆炸影響潔凈室的安全。因?yàn)闈崈羰覂?nèi)生產(chǎn)會使用大量的易燃易爆的氣體，溶劑和有機(jī)物，潔凈室封閉性很強(qiáng)，人員疏散較困難造成火災(zāi)，損失更大。
2、靜電的起因
由于某種原因引起電荷移動，正負(fù)電荷失去平衡，這樣物體就帶有靜電，造成電荷移動的因素主要有：
a、接觸帶電：其中還包括有磨擦帶電、滾動帶電、剝離帶電、噴射帶電等。
b、感應(yīng)帶電
c、流動帶電
d、電暈帶電
3、防靜電措施
a、潔凈室圍護(hù)的防靜電：即用高導(dǎo)電率材料來建造潔凈室的圍護(hù)（墻、頂、地）地面要采用由電阻值為10⁴~10⁶ Ω導(dǎo)靜電材料或電阻值為10⁶~10⁹Ω的抗靜電材料制作。主要有良好的接地。墻和頂要采用表面電阻值為10⁶~10⁸ Ω的鋁蜂窩或巖棉彩鋼板等金屬材料制作。并要有良好的接地。
b、人員的防靜電：潔凈室的作業(yè)人員要穿防靜電的潔凈工作服，在衣服的織物中加入金屬纖維、碳素纖維等導(dǎo)電材料。必要時作業(yè)人員手腕上配帶接地腕環(huán)。
c、生產(chǎn)工藝允許時還可以用提高潔凈室內(nèi)空氣的相對濕度的辦法來消除靜電。